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| 供求信息
> WLW系列无油立式往复真空泵
[Updated: 2013/07/03] |
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真空机组抽气的三个阶段
不放气的即使真的不漏气，放气总是存在实际上（3式反映的泵在
抽除真空室内空间气体的过程中压力的变化规律。当压力较高
时，系统的漏气量和放气量相对空间的气体量较小时，其影响可
以忽略，可以认为近似满足不漏气和不放气的条件，也就是3规律
能近似成立。当压力较低时，系统的漏气量和放气量不可忽略甚
至成为主要的气体负载时，3规律就要发生偏离，表示在压力下降
变为缓慢，一般发生这一转变的压力在0.5Pa左右，因此一个真空
系统典型的抽气过程先是压力下降很快，某一压力开始变慢。由
于一个合格的真空系统对其漏率有严格的要求，所以放气是影响
系统压力降低的主要因素，而放气是一个缓慢的过程，即使采用
烘烤等强化措施，要达到某一预定的压力，往往要经过很长的时
间。
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EC21çæææ1997-2013
çµè¯:86-0510-88260255 ä¼ ç86-0510-88260255
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